Miksi laitoimme Boron implantti / Salicide tukos kerros ESD rakenteisiin?

[omsi]

Hei, Voisiko joku antaa minulle miksi asetamme Boron implantti / Salicide tukos kerros ESD rakenteisiin. Lisäksi miksi pitää voimassa välejä diffuusio kontakteja ja Active poly? Vastaa ASAP. Kiitos Ennakointi, OMSI

 

[k_90]

Hei, Salicide käytetään Vähennä vastarinnan yli kontakteja ja poly ect. Lisäämällä salicide lohko lisäät määrä vastarintaa, mikä parantaa ESD koska nykyinen ei virtaa niin helppoa alas väärällä tiellä. Kun siru ei esd on yleensä lyhyt väliin viemärin ja lähde ja helpoin tapa virran kulun kautta kosketuksissa sitten shortsit. Onko ainakin 4x vähimmäisetäisyys yhteystiedot 2 yhteyttä ja yhteystiedot 2 poly.

 

[layoutmaster]

Oikeastaan ​​se silicide eikä Salicide. Silicidation käytetään vähentämään pintavastuksen esimerkiksi poly ja myös lähde-ja Drain difusions, jotta vähennetään lois vastus. IN ESD tapauksessa, ja se on oikein peräisin K-90 postitse estämällä silidication lisäät loistaudit difusion vastus ja parantaa esd suorituskykyä tekemällä virtaa entistä hallitusti.