Metal tiiviyden Layoput

S

sriganapati

Guest
Hi friends,

Miksi meidän on täytettävä metallin tiheys muodoltaan.

 
Metallia tiheyden avulla, kuinka paljon metallia tietyllä alueella.Tyypillisesti valimot säilyttää vähintään tietty prosenttiosuus on unifomity.Jos se ei täyty, "lautasen keilailu" vaikutus voidaan nähdä.

Enemmän etukäteen teknologiaa, ne voivat asettaa yläraja tiheys myös

 
Mielestäni stressi on ongelma, niin meidän täytyy lisätä joitakin paikka suurten metalli-alueella

 
Stressi on ongelma laajoilla alueilla metallia, mutta se on eri DRC tarkista tiheys tarkistaa.

 
Metal tiheys viittaa suhde metallin ominaisuuksia avata ominaisuuksia tietyn metallin maski.Tämä on ennen kaikkea vaatimus piikiekkojen Fab metalli etch prosessi, mutta voi olla vaikutusta plasman vahinkojen kanssa.
Prosessi käyttää RIE (Anisotrooppinen plasma etch), joka on hyvin herkkä määrä vastustaa (tiheys) on kiekkojen aikana etch.Tämä on rajoitus plasman kemian tarvitaan alumiinin etsaus.Eroosiota vastustaa edistää Anisotropia ja etch.
Jos on liian vähän, vaikka se Anisotrooppinen, etch alittavat kapea vastustaa piirteitä, joista tulee osa-Design rule leveä ja vaarantaa IC.On myös ohut Ti-Nitridi korkki päälle alumiini-kupari, joka toimii anti reflectant pinnoite phtot kuvankäsittelyä.Tämä ei ole alittanut niin poikkileikkauksen alumiini radan näyttää laiha Meksikon yllään suuri Sombrero (anteeksi kaikki meksikolaiset).Tämä johtava TiN korkki nyt helposti pudota ja maa muualle aiheuttaa johtava shortsit ja sadon menetyksiä.
Toinen ongelma on radan reunaan tiheä / syrjäseudulle.Puolella viimeisen kappaleen, yksi edessä suuri yksittäinen lakeus, se yleensä on kalteva (alittaa toisella puolella), ja sen vuoksi vaarannu.Tämä on lähes mahdotonta estää mitään väliä mitä tiheys.Joten tämä menee Designers koululaukku Paras Sisustus Käytännöt - viimeisellä rivillä pitäisi olla vähintään Design rule leveys.Kirjoittaa, että ulos 100 kertaa!

Jos liian tiheä, ei yhdenmukaisuus etch tulee huonompi, joten kun etch päätepisteitä (altistuvat avoin metalli alueiden välillä kappaleiden käynyt selväksi, metallia) koska ei unform etch tulee olemaan alueita, joilla ei ole vielä selvitetty.Riippuen layout, nämä saaret metallia ei ole vielä selvitetty voi tulla valtava antennit maksun keräämiseen, joka sitten vahingot IC paikallisen näille saarille.

[Huomaa, että tämä voi silti olla ongelma asettelu vaikka tiheys on hyvin alhainen, mutta on itse asiassa hyvin tiheä yhdellä tietyllä alueella.Kongon demokraattisessa tasavallassa ei löydä tätä, ja reitti aiheuttaa vian (huolimattoman layout) ei ole koskaan todettu ihana ei voi nähdä tämän käsittelyn aikana.Joten tämä myös menee suunnittelijat koululaukku parhaiden sijoittelu käytännöt!Fab ei ole aina syyllinen Plasma aiheuttama vahinko - kirjoittaa, että yksi 1000 kertaa.]

On varsin epätavallista, metallin tiheys on liian tiivis, jotta voidaan Valimot vain määritellä pienin (noin 28%).

Stressi kysymys on, kun kappaleet ovat hyvin pitkiä ja erittäin laaja.Valimo tulisi täsmentää suunnittelisi, että suuret kauan narrow cut out sisältyvät tällaista kaavoihin.Tämä on lähinnä valtaa linja ja voi olla todellinen ongelma kulmissa laitteen.Valimot on kiinni tästä, ja jotkut heistä otetaan vastuu niiden saattamista osaksi asiakkaan ulkoasu, vaikka asiakas ei ole.

 

Welcome to EDABoard.com

Sponsor

Back
Top