MIM kondensaattori

[henrywent]

Moi,
Minulla on vaikeuksia ymmärtää ulkoasu MIM kondensaattori Pcell jonka SMIC PDK.From the layout, että MIM kondensaattori koostuu m5, mim ja m6 kerrosta.m6 on ohut kerros tässä prosessissa.kysymykseni on, jos m5 on alhaalta kerroksen yläraja, joka kerros alkuun kerros suojus, mim tai m6?Onko mim kerros fyysinen kerros tai harjoitustestien kerros?mitä enemmän outoa on, että molemmat pohjalaatta ja alkuun kilpi on hyödynnettävä ulos m6 kautta VIA5-6.Niinpä näyttää siltä, että ei ole mahdollisuutta m6 olla alkuun kerroksessa, kondensaattori ja mim on fyysinen kerros (ja alkuun kerrosta korkki), mutta miten mim kerros siirtyä m6 kautta VIA5-6, koska se on ei m5 metallia?Olen todella hämmentynyt, kaikki kommentti on tervetullutta.
terveisin,
henry

 

[erikl]

Hi henrywent,
Ymmärrän hyvin sekaannusta olen kerran ollut sama

<img src="http://www.edaboard.com/images/smiles/icon_wink.gif" alt="Wink" border="0" />

Joten yritän kuvailla rakennetta ja toivomme, että tämä on ymmärrettävää:
The mim kerros on ylimääräinen (fyysinen, melko ohut) metallikerroksen välillä M5 ja M6, jotka erotetaan toisistaan hyvin ohutta eristekerroksen alkaen m5 (nykyään usein korkean k materiaali) esittää vasta MIM cap kannat (eli syövytetty pois muualla) .Tämä rakenne (ohut eristäminen kerroksen korkean k materiaali) mahdollistaa korkean cap arvo alueella.
On top of the mim kerros on tavanomainen eristäminen kerroksen välillä M5 ja M6, joten VIA5-6 liittää mim kanssa m6.Eikä m5 on m6, kuten taitto tekisi olettaa jos mim kerros ei näy.
Cheers, erikl

 

[henrywent]

Kiitos, teidän vastauksenne on erittäin hyödyllinen minulle!